CMOS Hotplate Chemical Microsensors, Fachbücher von Markus Graf, Henry P. Baltes, Diego Barrettino, Andreas Hierlemann

Das Buch "CMOS Hotplate Chemical Microsensors" ist eine umfassende Einführung in die Welt der mikrohotplate-basierten chemischen Sensorsysteme, die auf CMOS-Technologie basieren. Es behandelt alle relevanten Aspekte der erfolgreichen Prototypenerstellung von Sensoren, einschliesslich der Theorie der Transducer-Modellierung, der Überlegungen zum Mikroelektronikdesign sowie der Systemdesignfragen. Darüber hinaus werden wichtige Themen wie die Mikrofabrikation, Verpackung und Testverfahren von Systemen und Geräten behandelt. Das Werk stellt eine Vielzahl von Hotplates für unterschiedliche Betriebsbedingungen vor und präsentiert eine Familie von mikrohotplate-basierten Mikrosensorsystemen mit zunehmender Komplexität. Diese Systeme repräsentieren eine neue Generation chemischer Mikrosensoren und zeigen die erfolgreiche Integration von Nanomaterialien, Mikrotechnologie und Mikroelektronik.