Introductory MEMS, Fachbücher von Richard A. Layton, Thomas M. Adams

"Introductory MEMS: Fabrication and Applications" bietet eine umfassende Einführung in die Mikrosystemtechnik (MEMS) und richtet sich an fortgeschrittene Studierende der Ingenieurwissenschaften und verwandter Fachrichtungen. Das Buch ist in zwei Hauptteile gegliedert: Der erste Teil behandelt die gängigsten MEMS-Fertigungstechniken und die damit produzierten Geräte. Der zweite Teil konzentriert sich auf MEMS-Transducer, einschliesslich ihrer Funktionsweise, Modellierung und einer detaillierten Analyse kommerziell verfügbarer MEMS-Geräte sowie Mikrofluidik. Um das Lernen zu unterstützen, enthält das Buch zahlreiche praxisorientierte Laborübungen, die auf die Grundlagen der Mikrofabrikation abzielen. Am Ende jedes Kapitels finden sich zudem Literaturhinweise, empfohlene Lektüre, Wiederholungsfragen und Aufgaben, die den Studierenden helfen, das Gelernte zu vertiefen. Die klare und zugängliche Schreibweise macht es zu einem wertvollen Lehrmittel für Studierende aus verschiedenen akademischen Disziplinen.