Exploration of Focused Ion Beam Processing, Fachbücher von Sarvesh K Tripathi

Das Buch "Exploration of Focused Ion Beam Processing" bietet eine umfassende Untersuchung der physikalischen Prozesse, die bei der Fokussierten Ionenstrahlbearbeitung (FIB) eine Rolle spielen. Angesichts der wachsenden Notwendigkeit zur Miniaturisierung von Geräten und der damit verbundenen Bedeutung der Nanotechnologie, beleuchtet dieses Fachbuch die einzigartigen Eigenschaften und Anwendungen der FIB-Technik in der Nanofabrikation. Es werden grundlegende Phänomene wie Sputtern und molekulare Spaltung behandelt, die für die Materialentfernung und -ablagerung entscheidend sind. Darüber hinaus wird die Wechselwirkung zwischen Ionenstrahlparametern und den physikalischen Eigenschaften der hergestellten Nanostrukturen analysiert. Das Buch geht auch auf weitere physikalische Phänomene ein, die während des FIB-Prozesses auftreten können, und deren Einfluss auf die Effizienz der Nanofabrikation. Diese detaillierte Analyse ist für Forscher und Fachleute im Bereich der Nanotechnologie von grossem Interesse.