Laser Damage in Calcium Fluoride, Fachbücher von Stephan Rix

"Laser Damage in Calcium Fluoride" ist ein Fachbuch, das sich mit den Auswirkungen von Laserstrahlung auf Calciumfluorid, einem wichtigen Material für Linsen in der tiefen Ultraviolett-Mikrolithographie, beschäftigt. Das Buch beleuchtet die Herausforderungen, die durch hohe Fluenzexposition bei einer Wellenlänge von 193 nm entstehen, einschliesslich der Farbveränderungen und der Verschlechterung der optischen Eigenschaften des Materials. Durch theoretische Modellierung und experimentelle Beweise wird der Schadensprozess detailliert untersucht, beginnend mit der Wechselwirkung zwischen Materie und Licht bis hin zur Bildung komplexer Strukturen von Strahlenschäden. Das Verständnis von Laserschäden ist entscheidend für die Entwicklung zukünftiger Hochleistungsoptiken und bietet wertvolle Einblicke für Fachleute in der Materialwissenschaft und Optik.