Extended Defects in Germanium, Fachbücher von Cor Claeys, Eddy Simoen

Das Buch "Extended Defects in Germanium" bietet eine umfassende Übersicht über die Physik von erweiterten Defekten in Germanium, einschliesslich Versetzungen, Korngrenzen, Stapelfehlern, Zwillingen und {311}-Defekten sowie anderen Defekten wie Niederschlägen und Blasen. Der erste Teil des Buches behandelt die Grundlagen, einschliesslich der kristallographischen Struktur und der physikalischen sowie elektrischen Eigenschaften von Versetzungen, die für die plastische Verformung von Germanium entscheidend sind. Es werden Methoden zur Analyse und Bildgebung von Versetzungen vorgestellt, um deren Struktur zu bewerten. Zudem wird auf die elektrischen und optischen Eigenschaften eingegangen, die für Geräte aus disloziertem Germanium von Bedeutung sind. Der zweite Teil des Buches behandelt die Entstehung erweiterter Defekte während der Wafer- und Geräteverarbeitung, einschliesslich der Defektbildung während der Ionenimplantation und der Abscheidung epitaxialer Schichten. Ziel des Buches ist es, ein grundlegendes Verständnis für die Bildung erweiterter Defekte während der Verarbeitung von Germaniummaterialien und -geräten zu vermitteln und Ansätze zur Defektkontrolle und -technik aufzuzeigen.