Quantitative TEM Study of Nitride Semiconductors, Fachbücher von Maxim Korytov

Das Buch "Quantitative TEM Study of Nitride Semiconductors" von Maxim Korytov bietet eine umfassende Untersuchung der Anwendung der hochauflösenden Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) zur Analyse von III-Nitrid-Halbleitern. Der theoretische Teil des Werkes behandelt die Anpassung der TEM-Techniken zur Bewertung der Heterostrukturzusammensetzung durch Messung der atomaren Verschiebung. Es werden zwei Techniken zur Messung von Spannungen, die geometrische Phasenanalyse und die Projektionsmethode, verglichen. Zudem wird die Auswirkung der Erfassungsbedingungen auf die Spannungsmessungen detailliert erläutert. Im experimentellen Teil wird die Charakterisierung von GaN-Quantenpunkten (QDs), die auf AlGaN-Vorlagen gewachsen sind, behandelt. Diese Studie zeigt neuartige Phänomene auf, die für Nitrid-Halbleiter charakteristisch sind, und entwickelt verschiedene Modelle zur Erklärung der beobachteten Effekte. Das Buch richtet sich an Fachleute und Studierende, die sich mit der Materialwissenschaft und der Halbleitertechnologie beschäftigen.