Materials Fundamentals of Gate Dielectrics, Fachbücher von Alexandra Navrotsky, Alexander A. Demkov

Das Buch "Materials Fundamentals of Gate Dielectrics" bietet eine umfassende Einführung in die Materialgrundlagen neuartiger Gate-Dielektrika, die in der Halbleiterfertigung eingesetzt werden, um die kontinuierliche Skalierung von CMOS-Geräten zu gewährleisten. In einem sich schnell entwickelnden Forschungsfeld konzentriert sich das Werk auf das grundlegende Verständnis der Struktur, Thermodynamik und elektronischen Eigenschaften dieser Materialien, die deren Leistung in Geräteanwendungen bestimmen. Ein besonderer Fokus liegt auf Übergangsmetalloxiden, deren d-Orbitale zwar für die hohe Dielektrizitätskonstante verantwortlich sind, jedoch auch erhebliche Integrationsschwierigkeiten verursachen. Das Buch beleuchtet die Verbindung zwischen diesen Materialien und der Keramiken sowie die Komplexität der Struktur-Eigenschafts-Beziehungen in TM-Oxiden, die den Einsatz modernster Berechnungsmethoden erfordert. Zudem werden experimentelle Methoden wie Kalorimetrie, Ramanstreuung und Elektronenmikroskopie behandelt, um die theoretischen Konzepte zu untermauern.