Mechanical Microsensors, Fachbücher von R. Wiegerink, M. Elwenspoek

Das Buch "Mechanical Microsensors" bietet eine umfassende Einführung in die Welt der mechanischen Mikrosensoren, die durch Silizium-Mikrobearbeitung realisiert werden. Es basiert auf einem Kurs, der von der Schweizer Stiftung für Forschung in Mikrotechnologie (FSRM) organisiert wurde und von den Autoren entwickelt und gelehrt wurde. Das Werk verfolgt zwei Hauptziele: Zum einen gibt es einen Überblick über verschiedene Arten von mechanischen Mikrosensoren, darunter Druck-, Kraft-, Beschleunigungs-, Drehgeschwindigkeits- und Fluidfluss-Sensoren. Zum anderen dient es als Lehrbuch für Ingenieure, die sich mit den grundlegenden Entwurfsfragen dieser Sensoren auseinandersetzen möchten. Das Buch richtet sich an Ingenieure aus den Bereichen Maschinenbau und Elektrotechnik und vermittelt die notwendigen Kenntnisse, um die Herausforderungen im Sensor-Design zu meistern. Es ist so gestaltet, dass es für Studierende im dritten oder vierten Studienjahr zugänglich ist und als Lehrmaterial in entsprechenden Kursen verwendet werden kann.