Organic Peracid Etches, Fachbücher von Daniel Georg Possner

Das Buch "Organic Peracid Etches" von Daniel Georg Possner bietet eine umfassende Analyse der chemischen Ätzung zur Darstellung kristalliner Defekte in Siliziumsubstraten und Dünnfilmen. Diese Methode, die in Kombination mit lichtoptischer Mikroskopie eingesetzt wird, hat sich als bewährtes Verfahren zur Qualitätskontrolle etabliert. Das Werk beleuchtet die Herausforderungen herkömmlicher Ätzlösungen, die häufig hexavalentes Chrom enthalten und somit toxisch sind sowie nicht für dünne Siliziumfilme geeignet sind. Im Gegensatz dazu stellt das Buch eine neue Klasse von chromfreien Ätzlösungen vor, die organische Peroxide nutzen. Diese innovativen Lösungen sind in der Lage, verschiedene kristalline Defekte wie oxidationsinduzierte Stapelfehler, Versetzungen und Vakanzagglomerate in SOI- und sSOI-Strukturen sichtbar zu machen. Das Buch richtet sich an Fachleute und Wissenschaftler, die sich mit der Materialwissenschaft und der Halbleitertechnologie beschäftigen.