Raman spectroscopy of laser induced material alterations, Fachbücher von Michael Bauer

Das Buch "Raman Spectroscopy of Laser Induced Material Alterations" bietet eine umfassende Einführung in die Raman-Spektroskopie als Werkzeug zur Materialcharakterisierung. Es behandelt die Anwendung dieser Technik zur optischen Charakterisierung von mechanischem Stress in homogenen Proben sowie zur Identifizierung von Materialien und zur kompositionellen Kartierung. Ein besonderer Fokus liegt auf der konfokalen Raman-Mikroskopie, die es ermöglicht, Spannungsfelder zu messen, die durch mechanische Belastung oder Restspannungen nach der Herstellung in Materialien wie Silizium und Siliziumkarbid entstehen. Das Buch beleuchtet die Notwendigkeit, thermisch induzierte Verschiebungen der Raman-Peaks genau zu charakterisieren, um präzise Spannungsmessungen zu gewährleisten. Es wird auch auf die Auswirkungen der Messung selbst auf die Temperatur des Probenmaterials eingegangen, was für die Zuverlässigkeit von Messungen in Silizium-Mikrostrukturen von Bedeutung ist. Diese Informationen sind entscheidend für die Optimierung von Fertigungsprozessen und die Erhöhung der Zuverlässigkeit von Mikrosystemen.