Mikrostrukturierte Elektroden, Fachbücher von Markus Svarc

Die Verwendung von doppelseitig freitragenden mikrostrukturierten Elektroden in MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) und Radiofrequenzfallen ist derzeit Gegenstand aktueller Entwicklungen. Dieses Buch stellt die chemischen und physikalischen Verfahren sowie einen schrittweisen Herstellungsprozess für die Erzeugung von mikrostrukturierten Elektroden vor. Um freitragende Metallelektroden zu erhalten, wurde eine isotrope Tiefätzung eines Trägermaterials (in diesem Fall SiO2) durchgeführt, welche eine Unterätzung der Elektroden erzeugt. Zur Bearbeitung des Trägermaterials und der Metallisierung wurde auf Standardverfahren in der Prozesstechnik zurückgegriffen (Flusssäure für die isotrope Tiefenätzung, Argon-Plasma zum Sputtern der Metallisierung, Photolack zur Übertragung der Struktur der Belichtungsmaske). Weiterhin wurde die Veränderung des Photolacks durch Argon-Beschuss und die Haltbarkeit der Metallisierung bei langen Ätzzeiten in Flusssäure untersucht. Dieses Buch richtet sich an Studierende und Forschende im Bereich mikromechanischer Systeme (MEMS) und Verfahrenstechnik.