High-sensitivity, Low-noise Multi-axis Capacitive Micro-accelerometers, Fachbücher von Junseok Chae

Das Buch "High-sensitivity, Low-noise Multi-axis Capacitive Micro-accelerometers" bietet eine umfassende Untersuchung der neuesten Entwicklungen in der Technologie von Mikro-Beschleunigungssensoren. Es behandelt die Notwendigkeit von hochleistungsfähigen, kostengünstigen und energieeffizienten Beschleunigungssensoren, die in verschiedenen Anwendungen wie der inertialen Navigation, unbemannten Luftfahrzeugen und der GPS-Erweiterung eingesetzt werden. Der Autor, Junseok Chae, erläutert die Vorteile der kapazitiven Sensortechnologie, die sich durch hohe Empfindlichkeit, stabile DC-Eigenschaften und niedrigen Energieverbrauch auszeichnet. Das Buch beschreibt die vollständige Funktionalität von hochsensitiven, rauscharmen, multi-achsigen kapazitiven Beschleunigungssensoren und stellt innovative Strukturen wie den Silicon-On-Glass (SOG) und den All-Silicon-Beschleunigungssensor vor. Zudem wird eine monolithische Fertigungstechnik für Post-CMOS MEMS entwickelt, die die Herstellung dieser Sensoren optimiert.