Integrierte Schaltungen, Fachbücher von A. Schlachetzki, Waldemar von Münch

Wohl das auffälligste Charakteristikum der Entwicklung der modernen Elektronik ist der kontinuierliche Trend zu einer Miniaturisierung der Bauelemente und zu einer Integration der Schaltungen in einem einzigen Halbleiterkristall. Der Einfluss der integrierten Schaltungen ist in zunehmendem Mass in nahezu allen Bereichen des wirtschaftlichen Lebens zu spüren. Trotz dessen ist in deutscher Sprache nur wenig Literatur erhältlich, die als Einführung in das Gebiet der integrierten Schaltungen geeignet wäre. Mit dem vorliegenden Skriptum wird versucht, diesem Mangel abzuhelfen. Das Skriptum ist in erster Linie zum Gebrauch neben einer Vorlesung gedacht, die sich über zwei Semester in zwei Wochenstunden an Studierende der Elektrotechnik etwa ab dem 6. Semester wendet. Da das Skriptum möglichst wenig Bezug auf weiterführende Literatur nimmt, sollte es auch für diejenigen geeignet sein, die beruflich an integrierten Schaltungen interessiert sind und über einige Grundkenntnisse der Festkörperphysik verfügen. Das Skriptum befasst sich vorwiegend mit den technologischen Aspekten der Herstellung integrierter Schaltungen. Da aber eine enge Beziehung zum Schaltungsentwurf besteht, werden auch die Schaltungskonzepte beschrieben, die für integrierte Schaltungen von besonderer Wichtigkeit sind oder (wie die superintegrierten Schaltungen) durch sie überhaupt erst realisierbar werden. Gemäss seiner überragenden wirtschaftlichen Bedeutung nimmt die Behandlung des Halbleiters Silizium den bei weitem grössten Teil des Skriptums ein. Daneben werden auch Integrationsformen auf Galliumarsenid und magnetischen Werkstoffen gestreift, die für zukünftige Anwendungen gute Aussichten bieten.